제01장 초정밀연마 경면가공의 현상과 동향 今中 治
제02장 각종정밀연마 경면가공기술의 기초  今中 治
제03장 새로운 정밀연마 경면가공기술
        제01절 磁性流體이용의 정밀연마기술  黑部利次
        제02절 電氣泳動현상이용의 폴리싱기술  黑部利次
        제03절 메카노케미칼 폴리싱  安永暢男
        제04절 ハイドレーション加工  奧富 衛
        제05절 ノンコンタミネーション폴리싱  杉田忠彰
        제06절 ハイドレーン가공  今中 治
        제07절 EEM  森勇蔵
        제08절 フロートポリシング
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        제20절 イホンビーム를 이용한 정밀가공기술  金釜憲夫
제04장 초정밀연마 경면가공장치
제05장 반도체기반의 초정밀연마 경면가공장치 
제06장 자기ヘッドディスク의 초정밀연마 경면가공장치 
제07장 광학부품의 초정밀연마 경면가공장치 
제08장 각종재료의 초정밀경면가공기술
제09장 초정밀면의 측졍평가법
제10장 초정밀가공의 환경기술